株式会社ヤマト
インサートギアシャフト
金属ギア＋樹脂ギア、金属ウォームギア＋金属平ギア、金属ウォームギア＋樹脂平ギア等
LEDランプを使用、上下同時照射を可能とし、12インチの大型ウェハーも対応できる優れモノ
サイズ W580XD590XH273mm ・重量 約38ｋｇ ・照射範囲 約375X375mm ・照度13.0～15.0mW/cm2・光源 LEDブラックライト LD15T・UV36（日本製）X20本 365ｎｍピーク波長 寿命20,000ｈ（メーカー公称）・電源 AC100V（アース付3P）50/60Hz共用
