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LEDランプを使用、上下同時照射を可能とし、12インチの大型ウェハーも対応できる優れモノ サイズ W580XD590XH273mm ・重量 約38kg ・照射範囲 約375X375mm ・照度13.0~15.0mW/cm2・光源 LEDブラックライト LD15T・UV36(日本製)X20本 365nmピーク波長 寿命20,000h(メーカー公称)・電源 AC100V(アース付3P)50/60Hz共用
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